HFCVD化學(xué)氣相沉積金剛石,原理為:將含碳?xì)夥张c過飽和的氫氣混合,經(jīng)過某種方式活化后通在一定的氣氛組成、 活化能量、襯底溫度以及襯底與活化源之間的距離等條件下,在底表面沉積金剛石薄膜。一般認(rèn)為, 金剛石膜的形核與生長可以分為三個(gè)階段:
(1)含碳?xì)怏w和氫氣在一定 的溫度下分解成碳、氫原子和其它活性游離基團(tuán),他們與基體結(jié)合先形成一層很薄的碳化物過渡層;
(2)碳原子在基體上形成的過渡層上沉積金剛石晶核;
(3)形成的金剛石晶核在適當(dāng)?shù)沫h(huán)境下長大成金剛石微品,繼而長大成金剛石薄膜 。
納米涂層優(yōu)勢:
納米金剛石復(fù)合涂層拉拔模具,是以硬質(zhì)合金(WC-Co)為襯底,采用化學(xué)氣相法(簡稱CVD法)在模具的內(nèi)孔表面涂覆常規(guī)金剛石和納米金剛石復(fù)合涂層,并對涂層進(jìn)行研磨拋光后得到的一種全新產(chǎn)品。內(nèi)孔表面涂覆的納米金剛石復(fù)合涂層,既具有常規(guī)金剛石涂層附著力強(qiáng)、耐磨的特點(diǎn),又具有納米金剛石涂層表面平整光滑、摩擦系數(shù)小和容易研磨拋光等優(yōu)點(diǎn),納米金剛石復(fù)合涂層技術(shù),不僅解決了涂層附著力這一技術(shù)難題,而且突破了金剛石涂層表面不易拋光這一瓶頸,掃除了CVD金剛石薄膜產(chǎn)業(yè)化的障礙。